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七星華創流量計獲年度半導體創新產品和技術項目獎

發布時間:2018-4-27     來源:北方華創科技集團股份有限公司

2018年4月中旬,“2018中國半導體市場年會暨第七屆集成電路產業創新大會”在江蘇南京舉行。會上揭曉了第十二屆(2017年度)中國半導體創新產品和技術項目的獎項歸屬,由北方華創科技集團股份有限公司下屬企業“北京七星華創流量計有限公司”研制的“七星 US700 流量計”斬獲這一獎項。

北京七星華創流量計有限公司是北京北方華創微電子裝備有限公司下屬業務單元,是目前處于國內行業領先水平的氣體質量流量控制器研制生產廠商,其先后推出了模擬和數字氣體質量流量控制器,有關產品廣泛應用于集成電路、光伏、分析儀器、生物醫藥等領域。此次獲得半導體創新產品和技術項目獎的“七星 US700 流量計”是七星華創流量計有限公司最新研制的數字產品,具有控制精度高、低工作壓差等特性,適合于半導體離子注入工藝及其他相關集成電路制造工藝。值得一提的是,US700流量計也填補了國內在數字低壓差產品領域的技術空白,其性能指標達到國際先進水平。

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